微型复合离子泵Ion Pump
离子泵 + NEG 吸气剂一体化 · 断电仍可抽气 · 紧凑 CF16
面向超高真空（UHV）系统的微型复合离子泵，将溅射离子泵与非蒸散型吸气剂（NEG）集成于一体：离子泵持续泵除惰性气体与甲烷，NEG 高速吸收氢气及活性气体，二者互补实现小体积下的高效超高真空维持；NEG 无需供电，断电或运输期间仍可持续抽气。吸气剂激活温度仅 180 °C —— 随系统正常烘烤即可完成激活，无需单独工序。配套控制电源与高压引线，真空度实时显示（10⁻³~10⁻¹¹ Pa）。是磁光阱（MOT）、中性原子量子计算、光钟与精密测量等冷原子系统的理想主泵。
核心优势
小体积、大抽速，为空间受限的超高真空系统而设计。
离子泵 + NEG 复合
溅射离子泵与非蒸散型吸气剂双机制互补：离子泵泵除惰性气体，NEG 高速吸收氢气与活性气体，小体积实现大抽气能力。
180 °C 随炉激活
吸气剂激活温度仅 180 °C，系统正常烘烤即可同步完成激活，无需单独的高温激活工序，装机流程更简单。
断电仍可抽气
NEG 吸气剂无需供电即可抽除氢气等活性气体，断电或系统转运期间持续维持真空。
配套控制电源
随泵配套控制电源与高压引线，输出电压 2800~5000 V，并由离子电流实时显示真空度（10⁻³~10⁻¹¹ Pa），无需额外真空计。
紧凑轻量
CF16 / CF25 接口，微型化设计体积小、重量轻，适合空间受限的系统，安装方向任意。
与 LinQ 产品协同
与零开量子 2D-MOT、3D-MOT、Mini-MOT 冷原子源及碱金属释放剂配套，构成完整的超高真空冷原子解决方案。
技术规格
完整参数、尺寸图及安装、烘烤与启动流程详见用户手册。
| 泵类型 | 微型复合离子泵（溅射离子泵 + 非蒸散型吸气剂 NEG） |
|---|---|
| 型号 | 0.8 L/s 型 / 2 L/s 型 / 5 L/s 型 |
| 离子泵抽速 | 0.8 L/s / 2 L/s / 5 L/s |
| NEG 抽速 | 20 L/s（0.8 L/s 型）/ 25 L/s（2 L/s 型）/ 400 L/s（5 L/s 型） |
| 真空显示范围 | 1×10⁻³ ~ 1×10⁻¹¹ Pa（由离子电流实时读出） |
| 吸气剂激活温度 | 180 °C（随系统烘烤即可激活，无需单独工序） |
| 最高烘烤温度 | < 300 °C（含磁铁，磁铁无需拆除） |
| 出厂状态 | 泵体抽真空并密封封装 |
| 输出电压 | 2800~5000 V 直流 |
| 配套附件 | 控制电源；磁铁；3 m 可烘烤、抗辐射 SHV 高压电缆（带联锁） |
| 法兰接口 | 0.8、2 L/s 型 CF16（DN16，1.33″）；5 L/s 型 CF25（DN25，2.12″） |
| 高压接口 | SHV（5 kV） |
| 外形尺寸 | 0.8 L/s 型约 55 × 31 × 59 mm；2 L/s 型约 84 × 38 × 74 mm；5 L/s 型约 108 × 36 × 83 mm（含法兰与高压接头） |
| 安装方向 | 任意方向 |
| 典型应用 | 冷原子系统 / 量子计算 / 光钟 / 精密测量 / 分析仪器 |
应用领域
冷原子系统
维持磁光阱与科学腔的超高真空，延长原子囚禁寿命，是 2D-MOT / 3D-MOT / Mini-MOT 系统的理想主泵。
量子计算
中性原子与离子阱量子计算整机的长期无维护真空保障。
光钟与精密测量
为光钟、原子干涉仪与频率基准提供无振动、低干扰的洁净真空。
便携与小型化设备
微型化与轻量化设计，适合便携式量子传感、小型分析仪器等对体积重量敏感的场景。
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