微型复合离子泵Ion Pump
离子泵 + NEG 吸气剂一体化 · 无振动 · 免维护
面向超高真空（UHV）系统的微型复合离子泵，将溅射离子泵与非蒸散型吸气剂（NEG）集成于一体：离子泵持续泵除惰性气体与甲烷，NEG 高速吸收氢气及活性气体，二者互补实现小体积下的高效超高真空维持。吸气剂激活温度仅 180 °C —— 随系统正常烘烤即可完成激活，无需单独工序。整机无运动部件、无振动、无油污染，配套控制电源与高压引线，真空度实时显示（10⁻³~10⁻¹¹ Pa）。是磁光阱（MOT）、中性原子量子计算、光钟与精密测量等冷原子系统的理想主泵。
核心优势
为对振动、磁场与洁净度最敏感的系统而设计。
离子泵 + NEG 复合
溅射离子泵与非蒸散型吸气剂双机制互补：离子泵泵除惰性气体，NEG 高速吸收氢气与活性气体，小体积实现大抽气能力。
180 °C 随炉激活
吸气剂激活温度仅 180 °C，系统正常烘烤即可同步完成激活，无需单独的高温激活工序，装机流程更简单。
无振动 · 无噪音
无任何运动部件，工作时完全静止 —— 不干扰精密光学、原子干涉与频率基准。
配套控制电源
随泵配套控制电源与高压引线，输出电压 2000~5000 V，并由离子电流实时显示真空度（10⁻³~10⁻¹¹ Pa），无需额外真空计。
免维护 · 无油洁净
无油、无介质损耗、无需定期保养；微型化设计重量轻，安装方向任意。
与 LinQ 产品协同
与零开量子 2D-MOT、Little-MOT 冷原子源及碱金属释放剂配套，构成完整的超高真空冷原子解决方案。
技术规格
完整参数与选型曲线请联系我们获取规格书。
| 泵类型 | 微型复合离子泵（溅射离子泵 + 非蒸散型吸气剂 NEG） |
|---|---|
| 抽速 | 1~5 L/s（多档可选） |
| 真空显示范围 | 1×10⁻³ ~ 1×10⁻¹¹ Pa（由离子电流实时读出） |
| 吸气剂激活温度 | 180 °C（随系统烘烤即可激活，无需单独工序） |
| 输出电压 | 2000~5000 V 直流 |
| 配套附件 | 控制电源 + 高压引线 |
| 法兰接口 | CF 标准法兰（规格可定制） |
| 工作方式 | 无运动部件，静态泵送，无振动无噪音 |
| 污染 | 无油、无介质，洁净超高真空 |
| 维护 | 免维护，无需定期保养 |
| 安装方向 | 任意方向 |
| 典型应用 | 冷原子系统 / 量子计算 / 光钟 / 精密测量 / 分析仪器 |
应用领域
冷原子系统
维持磁光阱与科学腔的超高真空，延长原子囚禁寿命，是 2D-MOT / 3D-MOT 系统的理想主泵。
量子计算
中性原子与离子阱量子计算整机的长期无维护真空保障。
光钟与精密测量
为光钟、原子干涉仪与频率基准提供无振动、低干扰的洁净真空。
便携与小型化设备
微型化与轻量化设计，适合便携式量子传感、小型分析仪器等对体积重量敏感的场景。
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